文 献 综 述
干涉测量技术是一光波干涉原理为基础进行测量的一门技术，干涉技术和干涉仪在光学测量中一直占有重要的地位，在现代精密测量领域中，许多测量工作都是靠干涉法实现的。近代，由于激光及激光技术的出现与发展给干涉测长提供了极好的相干光源，因而使干涉方法的应用突破了光源方面的种种局限性，使利用光波干涉技术测量逐渐成为科研与生产中精密测量的主要手段之一[1]。
与一般光学成像测量技术相比，干涉测量具有大量程、高灵敏度、高精度等特点。随着数字图像处理技术以及各种光电子器件的不断发展，干涉测量技术在量程、分辨率、抗干涉能力、测量精度等方面也有了显著的进步。本文总结了利用干涉原理测量直角棱镜90°偏差的方法，通过分析对应干涉图样，求出对应90°偏差值函数关系，得到测试结果。
1引言
1.1直角棱镜的特性
图1直角棱镜示意图
直角棱镜是简单棱镜中的一种，是最常用的全反射棱镜，其外形如图1所示。直角棱镜的主截面(垂直于各个棱的面称为“主截面”)为等腰直角三角形，位于主截面内的光线通过棱镜反射仍在同一个平面内。通常光线垂直于入射面入射。若光线从斜面入射，在两个直角面发生全反射，则光线折转180°，二次反射成一致像,即入射是左手坐标系,出射仍为左手坐标系，如图(a)；若光线从一个直角面入射，在斜面发生全反射，则光线转折90°，一次反射成镜像,即左手坐标系变成了右手坐标系，如图(b) [2]。
若直角棱镜90°角存在偏差，而要想测量偏差值可以采用自准直法、干涉法等。误差的存在不仅是不可避免的，在一定程度上，也是为了节约成本提高生产率[3]。下面重点介绍几种利用干涉原理测量偏差值。
2测量方法
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