文献综述
文 献 综 述真空热处理主要应用在材料改性和金属工件制造等重要领域，是一种新型的材料热处理技术[1]。
在普通加热炉中进行热处理时，金属往往暴露在含有氧气、水蒸气和二氧化碳等气体的环境中，金属会被氧化，在表面生成氧化物[2-4]。
同时，这些气体也会与金属表层的碳发生化学反应使金属脱碳。
在真空热处理中，由于在热处理之前对系统进行抽真空，因此环境中的氧气、水蒸气和二氧化碳的含量会非常少，能够有效避免金属材料表面发生氧化反应和脱碳反应，能够最大限度地保持金属表面的化学成分和粗糙度[5-6]。
金属在进行热处理之前往往暴露在空气中因此表面上已经附着了氧化物和氮化物等物质。
在对金属进行真空热处理时，这些附着在金属表面的氧化物和氮化物等会发生还原分解或者挥发消失，使金属表面净化。
真空室（包括真空腔体和真空观察窗）是整个设备的重要组成部分。
根据不同的要求，真空室可设计为不同的形状[7]。
目前，应用较为普遍的真空室外形有六面体形、圆柱形等。
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