微型加速度传感器作为一种能够感知和测量加速度变化的微型器件，在航空航天、消费电子、汽车工业、生物医疗等领域展现出巨大的应用潜力。
本文首先阐述了微型加速度传感器的基本概念，包括其定义、分类、工作原理以及关键性能指标。
随后，文章深入探讨了微型加速度传感器领域的国内外研究现状，重点分析了不同类型传感器的优缺点、应用场景以及最新研究成果。
在此基础上，本文详细介绍了微型加速度传感器设计和制造的关键技术，包括结构设计、材料选择、微加工工艺、封装测试等方面，并对未来发展趋势进行了展望。
关键词：微型加速度传感器；MEMS；结构设计；微加工工艺；封装测试
随着微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)技术的快速发展，微型加速度传感器作为其重要分支，近年来取得了显著的进步。
微型加速度传感器是一种能够感知和测量加速度变化的微型器件，具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、易于集成等优点，被广泛应用于航空航天、消费电子、汽车工业、生物医疗、地震监测、资源勘探等诸多领域[1-3]。
例如，在航空航天领域，微型加速度传感器可用于飞行器导航、姿态控制、振动监测等方面；在消费电子领域，其被广泛应用于智能手机、游戏手柄、运动手环等设备中，实现运动跟踪、屏幕旋转、计步等功能；在汽车工业中，微型加速度传感器是实现安全气囊、电子稳定程序、防抱死系统等安全功能的关键部件；在生物医疗领域，其可用于可穿戴健康监测设备、植入式医疗器械等方面，实现人体运动监测、疾病诊断等功能[4-7]。
微型加速度传感器种类繁多，根据不同的工作原理，可以分为压阻式、压电式、电容式、谐振式等类型。
其中，电容式微型加速度传感器由于其具有高灵敏度、低功耗、良好的温度稳定性等优点，成为目前研究的热点和应用最广泛的类型[8-10]。
